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IQ Aligner 自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)

簡要描述:IQ Aligner 自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng) 用于自動非接觸近距離掩模對準(zhǔn)光刻,進(jìn)行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達(dá)200毫米。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 1914

詳細(xì)介紹

IQ Aligner 自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)主要用途:

用于自動非接觸近距離掩模對準(zhǔn)光刻,進(jìn)行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達(dá)200毫米。


IQ Aligner 自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)是具有高度自動化程度的非接觸式接近光刻平臺,可滿足將生產(chǎn)線中的掩模污染降至蕞低并提高掩模壽命和產(chǎn)品良率的需求。除了多種對準(zhǔn)功能外,該系統(tǒng)還通過專門配置進(jìn)行了大量的的安裝和現(xiàn)場驗證,可自動支撐和處理翹曲或變薄的晶圓。標(biāo)準(zhǔn)的頂面或底面對準(zhǔn)與集成的IR對準(zhǔn)功能之間的混合匹配操作進(jìn)一步拓寬了應(yīng)用領(lǐng)域,尤其是在與工程或粘合(鍵合)基板對準(zhǔn)時。該系統(tǒng)還通過快 速響應(yīng)的溫度控 制工具集支持晶圓片對準(zhǔn)跳動控 制。


IQ Aligner 性能特征

  • 晶圓/基板尺寸從碎片到200 mm / 8''寸

  • 用于外部晶圓楔形測量,實現(xiàn)了非接觸式接近模式

  • 增強(qiáng)的振動隔離

  • 各種對準(zhǔn)功能,提高了過程靈活性

  • 跳動控 制對準(zhǔn)功能

  • 多種晶圓尺寸的易碎,薄或翹曲的晶圓處理

  • 高地貌粗糙晶圓加工經(jīng)驗

  • 手動基板裝載能力

  • 遠(yuǎn)程技術(shù)支持和SECS / GEM兼容性

  • 附加功能:

  • 紅外對準(zhǔn)–透射和/或反射


技術(shù)數(shù)據(jù)

楔形補(bǔ)償:全自動-軟件控 制;非接觸式

先進(jìn)的對準(zhǔn)功能:自動對準(zhǔn);大間隙對準(zhǔn);跳動控 制對準(zhǔn);動態(tài)對準(zhǔn)

工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)200毫米

對準(zhǔn)方式:

  • 上側(cè)對準(zhǔn):≤±0.5 µm

  • 底側(cè)對準(zhǔn):≤±1,0 µm

  • 紅外校準(zhǔn):≤±2,0 µm /具體取決于基材

曝光設(shè)定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

曝光選項:間隔曝光/整片曝光

系統(tǒng)控 制:

  • 操作系統(tǒng):Windows

  • 文件共享和備份解決方案/無限制的配方和參數(shù)

  • 多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR

  • 實時遠(yuǎn)程訪問,診斷和故障排除

產(chǎn)能:

  • 全自動:一批印刷量:每小時85片

  • *自動化:吞吐量對準(zhǔn):每小時80個晶圓



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