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接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)
2024-09-09

大家也許還不是非常的清楚,光刻機(jī)的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來(lái)給大家簡(jiǎn)單介紹一下有關(guān)接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)。接近式光刻機(jī)的使用原理:其實(shí)在我國(guó)對(duì)于接近式光刻機(jī),曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點(diǎn)...

  • 2020-11-02

    美國(guó)FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備。美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x特殊功能優(yōu)點(diǎn):1、*封閉的設(shè)計(jì),溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel,提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測(cè)量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn),對(duì)大尺寸樣品可拼接測(cè)量。其應(yīng)力測(cè)量設(shè)備用戶遍及*,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列:M系列高精度型;S系列實(shí)時(shí)型;M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測(cè)量時(shí)間<45s,測(cè)量速度快。2、空間分辨率高,低噪聲。3、操作方...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波長(zhǎng)橢偏儀使用長(zhǎng)壽命LED光源設(shè)計(jì),使用壽命大于5000小時(shí),同時(shí)FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒(méi)有轉(zhuǎn)動(dòng)部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性??偟膩?lái)講,F(xiàn)S-1是一臺(tái)簡(jiǎn)單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測(cè)量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點(diǎn):1、沒(méi)有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)。2、測(cè)量精度只有用本儀器才能達(dá)到。3、快速多次測(cè)量(多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)在10毫秒)且長(zhǎng)期可靠性。4、長(zhǎng)壽命(50000小時(shí)),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時(shí)校正或周期維護(hù)。5、器對(duì)薄膜Δ參數(shù)相位差極...

  • 2020-10-22

    Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)采用了先進(jìn)的減振技術(shù),其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下:Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)技術(shù)參數(shù):1、減振方式:垂直方向-HERZ減振空氣彈簧,水平方向-Herz高性能水平振動(dòng)隔離系統(tǒng);2、空氣彈簧數(shù):4-6;3、阻尼方式:垂直方向通過(guò)節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼,水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼;4、固有頻率:垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時(shí));5、調(diào)平方式:帶有3個(gè)機(jī)械式自動(dòng)調(diào)平傳感器;6、供氣方式:需要外部氣源;7、所需氣壓:0.3~0.7MP...

  • 2020-10-19

    美國(guó)Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點(diǎn),使其在各種應(yīng)用場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。以下是關(guān)于Microsense位移傳感器特點(diǎn)的一些詳細(xì)介紹:1.高準(zhǔn)確性與靈敏性:該傳感器具備高準(zhǔn)確性的測(cè)量能力,其高精度可達(dá)0.5nm,這使得它在需要精確測(cè)量的場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。此外,它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下,也能產(chǎn)生明顯的信號(hào)響應(yīng)。2.優(yōu)化的近距離測(cè)量:Microsense位移傳感器特別適用于近距離測(cè)量,其測(cè)量距離在10微米到5毫米之間,這使得它在微小物體或結(jié)構(gòu)的位移測(cè)量...

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